能散型X射線熒光光譜儀的常見故障檢修及解決方法：
一、X射線發生器的高壓開不起來
1.檢查X射線防護系統面板的位置是否正常以及X射線的警示標志是否正常。
2.檢查內循環水的電導率是否過高記憶內循環水的水位是否過低。若高壓開起來幾分鐘后跳掉則需要檢查是不是內循環水系統的葉輪銹蝕或者過濾網堵塞導致內循環水流量過小。
3.打開高壓發生器，根據電路圖檢查各個開關是否正常、保險絲有沒有熔斷。
4.檢查X射線光管是否損壞、與高壓電纜的連接是否正常。
二、光譜室和樣品室的真空抽不到規定值
1.檢查樣品室樣品自轉裝置上的密封圈有沒有磨損。
2.檢查光譜室流氣計數器的窗膜是否漏氣(檢查方法：將入氣管和出氣管用一根軟管連接，使流氣計數器與外界隔絕，然后抽真空)。
3.檢查真空泵是否故障(將真空泵與光譜室和樣品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空)。
三、計數率不穩定
1.檢查流氣計數器窗膜導電性是否正常。
四、2θ掃描時，發現峰形不光滑，有小鋸齒狀
1.檢查晶體的衍射面是否受到污染
五、2θ掃描時只出現噪聲信號，沒有峰位信號
1.檢查探測器的前置放大電路是否出現故障。
2.檢查測角儀的θ和2θ的耦合關系，重新對光。
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