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真空技術直接影響MOVPE 外延工藝水平，因此保證設備真空穩定運行顯得尤為重要。根據MOVPE 設備運行原理，真空系統故障大體分為如下類型。
1 機械故障
機械故障導致的真空度不穩定是MOVPE 最常見的故障類型。MOVPE 設備真空反應室及真空管道、閥門等機械部件偏離正常狀態，真空系統喪失部分或全部功能，導致真空系統故障。根據機械零件失效理論，這類故障一般包括機械零件磨損失效、零件斷裂失效、金屬零件的腐蝕失效、真空零件變形失效等。理論上講，零件出現缺陷是機械故障的總根源。曾發現過蝶閥閥芯上的膠圈腐蝕、變形，導致閥芯卡死，不能實時調節真空壓力值；或者管道中球閥與控制其開閉的氣動閥之間的固定銷斷裂，導致閥門常開或者常閉，影響真空管道排氣等故障。
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